日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置

日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置
MicroGravite BG measure是一種將晶圓固定在基座上，從單面（上表面）照射紅外線，通過測量表面反射光和背面內(nèi)表面反射光的相位差來測定厚度的系統(tǒng)。由于可以將被測物體固定在基座上，即使是薄晶圓也可以進行測量。

產(chǎn)品型號：Real BG300
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-11-01
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日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置
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eal BG300型號是一種用于背磨后加工的多功能厚度測量設備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸（左右軸）、Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）讀數(shù)，它測量X、Y和θ軸上的兩條中心線，以及測量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測量Y軸和θ軸上整個表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器，Real BG300還能夠測量帶有固定背磨框架（保護膜/背磨帶）的晶圓。請注意：為了測量厚度，該設備需要具有大約#2000網(wǎng)紋或更大粗糙度的鏡面。eal BG300型號是一種用于背磨后加工的多功能厚度測量設備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸（左右軸）、Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）讀數(shù)，它測量X、Y和θ軸上的兩條中心線，以及測量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測量Y軸和θ軸上整個表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器，Real BG300還能夠測量帶有固定背磨框架（保護膜/背磨帶）的晶圓。請注意：為了測量厚度，該設備需要具有大約#2000網(wǎng)紋或更大粗糙度的鏡面。

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