日本micro-granite無(wú)損裸晶圓平整度測(cè)定機(jī)
日本micro-granite無(wú)損裸晶圓平整度測(cè)定機(jī)
Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過(guò)程中盡量減少任何震動(dòng)，該設(shè)備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動(dòng)軸承，這些軸承使用了來(lái)自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過(guò)將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析，Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過(guò)程中盡量減少任何震動(dòng)，該設(shè)備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動(dòng)軸承，這些軸承使用了來(lái)自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過(guò)將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析，Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過(guò)程中盡量減少任何震動(dòng)，該設(shè)備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動(dòng)軸承，這些軸承使用了來(lái)自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過(guò)將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析，Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。