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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)

日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)
該系統(tǒng)是對(duì)應(yīng)粒子去除、離子去除等超精密清洗需求的工業(yè)清洗裝置。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2026-01-30
  • 訪  問  量：63
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詳細(xì)介紹

日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)

日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)

超純水·純水·準(zhǔn)水系清洗系統(tǒng)

該系統(tǒng)是對(duì)應(yīng)粒子去除、離子去除等超精密清洗需求的工業(yè)清洗裝置。

■ 主要特點(diǎn)

  • 可去除離子殘留污垢：有效清除工件表面的離子性殘留物
  • 清洗劑選擇靈活：可根據(jù)不同工件材料選擇多種適配的清洗劑
  • 單元化降本設(shè)計(jì)：通過模塊化設(shè)計(jì)，開發(fā)出大幅縮減成本的機(jī)型
  • 兼容干燥系統(tǒng)：可并用大塚技研的溶劑干燥系統(tǒng)（兼顧速干性）
  • 環(huán)保安全：不易燃（無(wú)引火性），環(huán)境友好

■ 適用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體/電子類：HDD零部件、晶圓（Wafer）、液晶相關(guān)部件、手機(jī)零部件
  • 光學(xué)/精密類：光學(xué)鏡頭、各類精密零部件

■ 清洗等級(jí)對(duì)應(yīng)范圍

清洗等級(jí)從粗洗（1級(jí)）到精密清洗（10級(jí)）均可對(duì)應(yīng)，滿足不同潔凈度要求。
（圖示：可處理各類小型精密金屬零件/連接器類工件）

■ 工藝流程圖（フローチャート）


步驟工位名稱說明
①清洗劑浸漬清洗化學(xué)浸泡清洗槽（泵P+過濾器B循環(huán)）
②清洗劑浸漬清洗二次清洗劑浸泡（內(nèi)置加熱器）
③一次漂洗一次純水漂洗
④一次漂洗第二次純水漂洗（配活性炭AC+預(yù)過濾器PF+離子交換樹脂VC）
⑤精漂洗最終純水漂洗（高潔凈度）
⑥吸收干燥吸收式干燥處理（配空氣刀+油霧分離器+加熱器）
⑦溫純水提升使用溫純水進(jìn)行提拉脫水（配真空泵VP）
⑧HFC干燥氫氟碳化合物干燥（配冷卻器+鼓風(fēng)機(jī)）
⑨HFE干燥氫氟醚干燥（配換熱器）



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