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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁(yè)  /  產(chǎn)品展示  /  實(shí)驗(yàn)設(shè)備  /  脫氣機(jī)  /  TY-77100半導(dǎo)體藥液專用脫氧裝置 PFA材質(zhì)耐腐蝕

半導(dǎo)體藥液專用脫氧裝置 PFA材質(zhì)耐腐蝕

半導(dǎo)體藥液專用脫氧裝置 PFA材質(zhì)耐腐蝕
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造、化工生產(chǎn)、大規(guī)模藥液處理系統(tǒng)等需要大流量脫氣的工業(yè)場(chǎng)景。

  • 產(chǎn)品型號(hào):TY-77100
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2026-01-29
  • 訪  問(wèn)  量:65
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詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體藥液專用脫氧裝置 PFA材質(zhì)耐腐蝕

半導(dǎo)體藥液專用脫氧裝置 PFA材質(zhì)耐腐蝕

TY-77 系列

適用于生產(chǎn)工藝的脫氣模塊

產(chǎn)品概述

這是一款適用于生產(chǎn)工藝的脫氣模塊。

核心技術(shù)特點(diǎn)

  • 高效脫氣性能:在流量 1000 ml/min 條件下,可脫除 80% 水中溶解氧
  • 廣泛化學(xué)兼容性:可應(yīng)對(duì)藥液?有機(jī)溶劑?酸?堿(相當(dāng)于PTFE材質(zhì)水平)
  • 低污染設(shè)計(jì):膜表面采用非多孔質(zhì)光滑膜,不易附著污染物,無(wú)溶出物
  • 半導(dǎo)體行業(yè)驗(yàn)證:已在半導(dǎo)體領(lǐng)域擁有實(shí)際使用業(yè)績(jī)

產(chǎn)品型號(hào)與規(guī)格

型號(hào)概覽


外形尺寸型號(hào)類型流量范圍
Φ125×H350mmTY-77050標(biāo)準(zhǔn)型≤1000 ml/min
Φ145×H350mmTY-77050P低壓損型≤1000 ml/min
Φ165×H350mmTY-77100標(biāo)準(zhǔn)型≤2000 ml/min
Φ145×H350mmTY-77050 & TY-88010模塊+控制器組合≤1000 ml/min

詳細(xì)規(guī)格參數(shù)表


類型產(chǎn)品名稱流量范圍 (ml/min)*1膜內(nèi)容積 (ml)外形尺寸*2 (mm)耐壓 (MPa)使用溫度 (℃)連接接口接液部材質(zhì)脫氣率80%時(shí)的流量*?







通液端口真空端口

標(biāo)準(zhǔn)型TY-77050≤1000680Φ145×H3500.350超級(jí)管接頭
Φ10*3
快插接頭
Φ6
PFA
(脫氣膜、端部、接合部)
500 ml/min
標(biāo)準(zhǔn)型TY-77100≤20001350Φ165×H3500.350超級(jí)管接頭
Φ10*3
快插接頭
Φ6
PFA
(脫氣膜、端部、接合部)
1000 ml/min
低壓損型TY-77050P≤1000680Φ145×H3500.350超級(jí)管接頭
Φ10*3
快插接頭
Φ6
PFA
(脫氣膜、端部、接合部)
500 ml/min

注釋說(shuō)明

  • *1:流量范圍為選型參考值。根據(jù)液體種類和目標(biāo)脫氣范圍,即使超出上述流量范圍也可使用。
  • *2:不含凸起部和連接接頭的尺寸。詳情請(qǐng)參閱規(guī)格書(shū)。
  • *3:標(biāo)準(zhǔn)品規(guī)格。(訂購(gòu)時(shí),連接管外徑可指定 Φ6~Φ10,內(nèi)徑 1/4~3/8
  • *4:脫氣率80%的流量為本公司測(cè)量時(shí)的數(shù)值。



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