日本tecnostrap工業(yè)CVD工藝粉體捕集過(guò)濾器

日本tecnostrap工業(yè)CVD工藝粉體捕集過(guò)濾器
Technos 的粉體捕集過(guò)濾器專為液晶面板 CVD、半導(dǎo)體 CVD 等工藝中的粉塵處理而設(shè)計(jì)。

當(dāng)粉體捕集器開始堵塞時(shí)，干式泵至捕集器之間的壓力會(huì)上升，表現(xiàn)為干泵背壓升高。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-11-29
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Technos 的粉體捕集過(guò)濾器專為液晶面板 CVD、半導(dǎo)體 CVD 等工藝中的粉塵處理而設(shè)計(jì)。

當(dāng)粉體捕集器開始堵塞時(shí)，干式泵至捕集器之間的壓力會(huì)上升，表現(xiàn)為干泵背壓升高。
通常以背壓 ≈ 0.03 MPa 作為濾芯更換的參考值。
也可綜合以下指標(biāo)進(jìn)行判斷：

干泵電流值上升
已處理晶圓片數(shù)
真空腔體累計(jì)運(yùn)行時(shí)間
Technos 的粉體捕集過(guò)濾器專為液晶面板 CVD、半導(dǎo)體 CVD 等工藝中的粉塵處理而設(shè)計(jì)。
當(dāng)粉體捕集器開始堵塞時(shí)，干式泵至捕集器之間的壓力會(huì)上升，表現(xiàn)為干泵背壓升高。
通常以背壓 ≈ 0.03 MPa 作為濾芯更換的參考值。
也可綜合以下指標(biāo)進(jìn)行判斷：
干泵電流值上升
已處理晶圓片數(shù)
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當(dāng)粉體捕集器開始堵塞時(shí)，干式泵至捕集器之間的壓力會(huì)上升，表現(xiàn)為干泵背壓升高。
通常以背壓 ≈ 0.03 MPa 作為濾芯更換的參考值。
也可綜合以下指標(biāo)進(jìn)行判斷：
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