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日本new-cosmos半導(dǎo)體材料吸引式氣體檢測儀

日本new-cosmos半導(dǎo)體材料吸引式氣體檢測儀
XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機(jī)株式會社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測。

產(chǎn)品型號：XPS-7II
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-11-18
訪問量：136

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聯(lián)系電話：13823182047

詳細(xì)介紹

日本new-cosmos半導(dǎo)體材料吸引式氣體檢測儀
日本new-cosmos半導(dǎo)體材料吸引式氣體檢測儀

XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機(jī)株式會社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測多種半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體。該設(shè)備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)了小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測。

核心特點

傳感器單元更換系統(tǒng)：

現(xiàn)場可更換：傳感器單元可在使用現(xiàn)場輕松更換
多氣體檢測：一臺設(shè)備通過更換傳感器單元可檢測多種氣體
免校準(zhǔn)設(shè)計：傳感器單元更換后無需校準(zhǔn)，節(jié)省維護(hù)時間和成本

小尺寸：

超緊湊設(shè)計：在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)尺寸
輕量化：約1.3kg重量，便于攜帶和操作
NF?檢測：作為便攜式NF?檢測儀，具有業(yè)界緊湊性

智能報警系統(tǒng)：

漸進(jìn)式報警：報警音隨氣體濃度變化而變化，從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
高濃度報警：高濃度時發(fā)出連續(xù)音報警
多重顯示：LCD閃爍、紅色報警燈閃爍等多重報警方式

國際認(rèn)證：

CE標(biāo)志：符合歐洲CE規(guī)格要求

技術(shù)規(guī)格詳解

表格

復(fù)制

項目	規(guī)格
檢測對象	半導(dǎo)體材料氣體
檢測原理	定電位電解式
采樣方式	自動吸引式
檢測范圍	根據(jù)規(guī)格而定
報警設(shè)定值	根據(jù)規(guī)格而定
報警方式	蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示
響應(yīng)時間	60秒以內(nèi)（60%響應(yīng)）
尺寸	W62×H150×D128mm（不含突起部分）
重量	約1.3kg
工作溫度范圍	0℃～+40℃
連續(xù)使用時間	12小時以上（NF?傳感器單元使用8小時以上）※堿性干電池、20℃、無報警時

主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：

半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測
化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝氣體監(jiān)測
刻蝕工藝氣體檢測
離子注入工藝氣體監(jiān)測

典型檢測氣體：

NF?（三氟化氮）：主要用于CVD腔室清洗
SiH?（硅烷）：用于硅膜沉積
PH?（磷化氫）：用于摻雜
AsH?（砷化氫）：用于摻雜
B?H?：用于摻雜
WF?（六氟化鎢）：用于鎢膜沉積

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日本new-cosmos半導(dǎo)體材料吸引式氣體檢測儀

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